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原裝RIGAKU測量儀TXRF 3760儀器

更新時間:2024-09-28

簡要描述:

原裝RIGAKU測量儀TXRF 3760儀器RIGAKU測量儀TXRF 3760

  TXRF分析可以衡量所有晶圓廠工藝中的污染,包括清潔,光刻,蝕刻,灰化,薄膜等。TXRF 3760可以使用單靶3束X射線系統(tǒng)和液氮測量從Na到U的元素探測器系統(tǒng)。

  TXRF 3760包括Rigaku獲得 的XYθ樣品臺系統(tǒng),真空晶圓自動傳送系統(tǒng)以及新的用戶友好型Windows軟件。所有這些都有助于提高吞

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原裝RIGAKU測量儀TXRF 3760儀器

RIGAKU測量儀TXRF 3760

  TXRF分析可以衡量所有晶圓廠工藝中的污染,包括清潔,光刻,蝕刻,灰化,薄膜等。TXRF 3760可以使用單靶3束X射線系統(tǒng)和液氮測量從Na到U的元素探測器系統(tǒng)。

  TXRF 3760包括Rigaku獲得的XYθ樣品臺系統(tǒng),真空晶圓自動傳送系統(tǒng)以及新的用戶友好型Windows軟件。所有這些都有助于提高吞吐量,更高的精度和精確度以及易于日常操作。

  可選的Sweeping TXRF軟件可以繪制晶片表面上的污染物分布圖,以識別“熱點",可以以更高的精度自動重新測量??蛇x的ZEE-TXRF功能克服了原始TXRF設(shè)計歷來15 mm的邊緣排除問題,從而實現(xiàn)了零邊緣排除的測量。

  易于操作和快速分析結(jié)果

  接受200毫米或更小的晶圓

  緊湊的設(shè)計,占地面積小

  大功率旋轉(zhuǎn)陽極源

RIGAKU測量儀TXRF 3760

  多種分析元素(Na?U)

  元素敏感性(對于Na,Mg和Al)

  應(yīng)用于裸硅和非硅襯底

  從缺陷檢查工具導(dǎo)入測量坐標(biāo)以進(jìn)行后續(xù)分析

  產(chǎn)品名稱:TXRF 3760

  技術(shù):全反射X射線熒光(TXRF)

  效益:從Na到U的快速元素分析,以測量所有制造工藝中的晶片污染

  技術(shù):帶有無液氮檢測器的三束TXRF系統(tǒng)

  核心屬性:最大200毫米晶圓,XYθ樣品臺系統(tǒng),真空晶圓機械手傳輸系統(tǒng),ECS / GEM通信軟件

  核心選擇:掃描TXRF軟件可以繪制晶片表面污染物分布圖,以識別“熱點"。ZEE-TXRF功能可實現(xiàn)零邊緣排除的測量

  電腦:內(nèi)部PC,微軟Windows ® OS

  核心尺寸:1000(寬)x 1760(高)x 948(深)毫米

  重量:100公斤(核心裝置)

  電源要求:3?,200伏交流50/60 Hz,100安


原裝RIGAKU測量儀TXRF 3760儀器

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